| 摘要： | 使用涡流传感器和一种方法探测在基底上形成的薄膜的厚度。涡流传感器可以稳定运行，可以精确地探测到抛光的终结点。涡流传感器通过在导电薄膜上产生的涡流损耗的变化探测导电薄膜的厚度。涡流传感器中有一个用于在导电薄膜中产生涡电流的传感线圈，还有一个有源单元与线圈相连，产生于涡流损耗对应的可变振荡频率。传感线圈和有源单元集成在一起形成涡流传感器。或者，涡流传感器也可以有一个在导电薄膜中产生涡电流的的传感线圈，以及一个探测导电薄膜厚度变化的探测器组成，厚度变化由传感线圈和导电薄膜形成的阻抗中的电阻器件的变化得到。 |