公开号：	US2006215153A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	检验半导体器件的方法及其装置
摘要：	该方法和装置在一系列检验条件下对样品进行检验，并且存储在每种检验条件下检验样品得到检验数据以及对应于各种检验条件的检验数据的位置信息。每种检验条件下的检验数据通过样品的位置信息相比较，以确定一个位置对细节进行检验，并且能够获得该位置样品的细节检验图像。对获得的图像进行分类，样品的检验条件通过图像信息分类确定。