公开号：	US2006219020A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	带有压力敏感薄膜的压力传感器
摘要：	压力传感器具有一个腔室，部分由厚度小于三微米的韧性薄膜构成，置于液压中，并且根据液压变化从参考位置倾斜，以及用于将韧性薄膜的倾斜度转换成表明液压的输出信号的相关电路。