| 摘要： | 一个细观机电系统（900，1100）包括基板（215），放置在基板表面的支座（405，1160），放置在基板表面的第一个静电模式（205，1105，1110，1115，1120），玻璃梁（810）。玻璃梁（810）有一个固定的区域（820）连接到支座，玻璃梁悬臂位置有第二个静电模式（815，1205，1210，1215，1220）。第二个模式是广泛合作于和平行于第一个静电模式。当第一和第二静电模式在非通电状态时，第二个静电模式与第一个静电模式有一个宽松的静电分离（925）。在一些架构里，静电材料形成了镜子，也形成了第二个静电模式。玻璃梁可以用喷砂构造图案（140）。 |