公开号：	US7283207B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	曝光装置
摘要：	在曝光设备中，从光源发出的光通量转换成一系列在庞加莱表面互相垂直的偏振光束并且输出。这些偏振光线注入到投影光学系统中，或者被转化成转化的基本偏振光束。随着线偏振器或线性相位延迟器适当的插入到转换的偏振光线的光路中，光强度被整体测量。转换后的偏振光线的斯托克斯参数通过测量到的光强度而得到计算。