公开号：	US7288777B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	超紫外光源收集器
摘要：	本设计提供一种超紫外光源设备/方法，它包括一个收集器，收集器包括一个椭圆收集镜，椭圆收集镜在等离子起始点具有第一焦点，和在超紫外光源干涉焦点处的第二光源；一个碎片保护等离子起始点与由一系列延伸通道构成的椭圆收集镜之间的干涉，延伸通道从第一焦点延伸到同一直线上的椭圆收集镜第二焦点处。这一系列延伸通道形成于一系列刨箔之间，放射状的从第一焦点延伸到同一直线上的第二焦点处，相对于通过第一焦点和旋转轴对称，并且与收集镜的纵轴在同一直线上。