| 摘要： | 该装置/方法包括，一个多层反射膜用于形成超紫外反射表面，它包括内部散射障碍层内部散射障碍层是由选自ZrC和NbC组的碳化物或者选自ZrB2或者NbB2组的硼化物或者选自ZrSi2和NbSi2组的二硅化物或者选自BN、ZrN、NbN、ScN和Si3N4组。该装置和方法包括超紫外光源收集器，它包括一个采集透镜，由一个普通入射角多层反射膜构成；一个内部色散障碍层，由选自ZrC和NbC组的碳化物材料，或者选自ZrB2或者NbB2组的硼化物或者选自ZrSi2和NbSi2组的二硅化物或者选自BN、ZrN、NbN、ScN和Si3N4组。 |