公开号：	US7323703B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	超紫外光源
摘要：	本设计所描述的设备和方法包括一个超紫外光源多层收集器，它具有一个等离子形成腔；一个外壳，等离子形成腔在其中，它形成了收集器的形状并且具有一个焦距；这个外壳具有足够的尺寸和热量集中，使热量远离多层反射器并且在外壳与焦点对着的那一边从外壳的表面散热。外壳的材料构成包括从硅氧化物、硅、微晶玻璃或者超紫外玻璃、铝、铍、钼、铜，镍的组中选定的材料。该装置和方法包括至少一个在外壳上的散热器用来保持外壳的在选定温度范围之内的稳定的温度状态。