公开号：	US7372624B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	8-镜面显微光刻法投影物镜
摘要：	本专利是一个投影物镜，它为光束提供一个从物面的物场到像面的像场光路。投影物镜包括8个镜面。光路由8个镜面提供且无遮蔽。