公开号：	US7388220B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	极紫外光源
摘要：	本专利涉及了一个极紫外光源，该极紫外("EUV")光源由激光器产生的等离子体("LPP")激发。该装置包含了一个适应于移动等离子体起始目标的目标传送系统和一个极紫外光采集镜片，镜片设定了期望的等离子体起始位置。