公开号：	US7449704B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	远紫外光源
摘要：	本专利是一个远紫外光源的设备，它包括了产生远紫外等离子体的等离子体发生腔；一个反射部分被已产生的远紫外等离子体照射的远紫外光收集装置；一个反射部分与远紫外光收集装置反射部分相同材质的目标样本；一个检测远紫外光等离子体产生的远紫外光的第一探测器；一个检测被目标样本反射的远紫外光的第二探测器。