公开号：	US2006236793A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	半导体加工系统非侵入性故障检测的传感器装置
摘要：	发明了一种用来检测加工系统的电池供电设备及其使用方法。支撑平台的物理性质例如大小、侧面高度、质量柔韧性/强度，与加工系统所要加工的基片很相似，以便传感器装置可以以与生产的基片相似的方式在加工系统中传递过。