公开号：	US7453228B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	控制和材料分析
专利名：	用于控制定位装置，对装置定位及光刻设备带有定位装置的方法
摘要：	用于控制定位装置的方法中，该定位装置有一个固定部分和转动部分，转动部分相对于固定部分可移动；位置传感器用于产生一个用于指示转动部分相对于固定部分位置的位置信号；控制器用来接收位置信号，并将其与设定点信号比较以获得误差信号，控制器增益可变。包括位置传感器和控制器在内的定位装置视为一个控制回路。对于误差信号而言，其值在预定范围内，增益被设定的值大于误差信号值在预定范围外增益被设定的值。