公开号：	US7321217B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	控制和材料分析
专利名：	一个基于扫描和方法的二维微机电系统（MEMS）伺服系统
摘要：	一个基于运动控制系统（和方法）的微机电系统（MEMS）的伺服控制系统，包括一个带有固有刚度组件的运动发生器。