公开号：	US7333862B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	控制和材料分析
专利名：	移动物体位置控制装置，使用移动物体位置控制装置和位置控制方法的舞台装置
摘要：	移动物体位置控制装置，通过该装置可以以高精度平移方式驱动一个移动物体，即使有干扰输入，移动物体在偏仰方向不发生旋转。本文提供一个使用移动物体位置控制装置和位置控制方法的舞台装置。