公开号：	US2006238749A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	耀斑测量方法和测量装置，曝光方法、曝光装置以及曝光装置调整方法
摘要：	光学系统提供了一种耀斑的测量方法和测量装置，并且还提供了一种曝光方法、曝光装置以及关于耀斑定量测量信息获取的曝光装置调整方法。光学系统中提供的用了测量耀斑的装置：一个光源装置与一个曝光灯一起来照亮光学系统的光通路；一个预先设定样式的底片安装在光学通路上；一个检测装置安装在投影光学系统的像平面上，它能够测定光的光能信息；一个控制设备来控制曝光灯的照明范围并且可以基于检测装置测定的曝光灯的结果来获取耀斑的信息。