公开号：	US2006238754A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	缺陷检测装置和缺陷检测方法
摘要：	缺陷检测装置和缺陷检测方法可以减少来自潜在层的噪声光量并且可以使缺陷检测装置具有良好的稳定性。该装置包括：一个照明装置的照明灯，一个包括顶层有圆形图案的耐受层的待测基板，一个通过来自照明光经过基板的投射光对待测基板成像的光学成像系统。照明光的波长是一个固定值，这样源自于待测基板的耐受层表面的光强会比通过耐受层下的圆形图案的光强要大。