| 摘要： | 介绍了一种通过一些含有缺陷的高分辨率光学图像来检测细小缺陷装置，它可以使半导体器件的细实线状光谱的对比度差别更大。缺陷检测装置包括：一个样品支架器件来支承样品；照明和检测器件用来给支架上放置的与图案样品进行照明和检测在此处获得的反射光图像；还有一个用来显示被照明和检测器件所检测到的图像的显示器；一个用来在显示器上显示和设置照明和检测器件的参数的光参数设置器件；一个按照光参数设置器件设置的参数用来调整照明和检测器件的参数的光参数调整器件；一个用来存储对比图像数据的存储器件；一个通过比较光学图像检测元件检测到的光学图像以及存储器件中存储的图像的样品图案来检测缺陷的缺陷检测器件。 |