| 摘要： | 该测量方法和装置使用一个能量束照亮加工有图案的待测样品，提供了一个视觉系统来检测来自待测样品的投射能量束或者反射能量束，获得图案的图像，通过将获取的图案与设计的图案相比较来检测待测样品上的图案缺陷，这里的待测样品被称做光掩膜。在制造光掩膜过程中产生的一个设计图案是作为该图案的设计数据，并且在将获取的图案与设计的图案对比的步骤中，设计数据按照特定的方法转化为一幅图像（一下简称为晶圆图像），晶圆图像实际是通过使用一个分档器来在晶圆上形成光掩膜图案，实际测量过程中也同时将获取的图像以特定的方法转化为一幅晶圆图像，缺陷的检测就是通过这两幅晶圆图像之间的相互对比而实现的。 |