公开号：	US2006239536A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	缺陷数据分析方法、检测装置及审查系统
摘要：	缺陷数据分布的分析，是基于检测装置检测到的缺陷坐标并将其分类为一个散布的特征类别或者是一个重复的缺陷、阻塞的缺陷、线性分布的缺陷、环状分布的缺陷及随机分布的缺陷。在半导体基板的制造过程中，基于一个检测装置测到的数据来分析缺陷的分布状态，从而可说明设备或工艺造成缺陷的原因。