公开号：	US2006241894A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	位置检测设备和位置检测方法
摘要：	标签位置的检测方法包括以下步骤：在第一个测量条件下，通过使用检测光来检测标签位置相关的第一种信息；在与第一个测量条件不同的第二个测量条件下，通过使用检测光来检测标签位置相关的第二种信息；以第一和第二种信息为基础检测标签的位置，这样就可以提高高精度位置检测，从而作为半导体器件制造使用的照射仪器来检测对齐或者遮挡。此处，即使在对齐的标签不均匀或者多个对齐标签之间存在非对齐的误差时，测量精度也不会有损失。