| 摘要： | 本发明提供了一种局部探头测量装置用来实现对一个样本的局部测量，它包括一个对一个样本或者一个参考面的局部测量的第一局部探头、一个对一个样本或者一个参考面的局部测量的第二局部探头、一个测量环境调整装置用来对关于样品或参考面的第一局部探头的第一个测量环境以及第二局部探头的第二个测量环境进行一般调整、一个有和第一局部探头相连的用于独立检测关于第一局部探头获取的第一局部测量数据的第一检测装置以及和第二局部探头相连的用于独立检测关于第二局部探头获取的第二局部测量数据的第二检测装置的检测装置。此外，还提供了实现局部测量以及通过多个局部探头实现局部操作的方法。 |