| 摘要： | 该专利发明提供一个液体混合系统可以混合任何比例的液体，并且控制偶数脉动液体的流速，可以控制偶数的脉动液体的流速，压缩在配置器中，并也可以安装在狭窄的空间中，在安装的时候管道安置和连接方便。该专利发明的系统中，公聊管线1,2带有液体控制阀4,10控制液压，流速测量装置3,9测量实际的液体流速，将测量值转换成电信号，并且输出，控制单元5,11输出命令信号，基于测量的实际流速和设定流速之间的偏差控制操作液体控制阀。在该专利发明的系统中，例如，为半导体获得清洗液，氢氟酸或者与纯净水按照1~10:200的比例调和得氢氟酸。 |