| 摘要： | 本发明提供位置控制装置、测量装置以及加工装置。在包括具有控制电机电流(I)的电流控制环和控制电机速度(Vm)的电机速度控制环的驱动控制部(5)、控制被驱动体(2)的速度(Vd)的速度控制环(3)、以及控制被驱动体(2)的位置(Pd)的位置控制环(4)的4层环位置控制装置(1)中，设置加法器(6)，对来自位置控制环(4)的输出值和来自速度控制环(3)的输出值进行加法计算，将结果输入电机速度控制环。通过设置加法器(6)，位置控制装置(1)作为线性滞后系统的控制装置进行动作，因此即使从抑制被驱动体(2)的振动性的动作的角度设定了位置控制装置(1)的各项传递函数，也能可靠地防止发生过冲。 |