公开号：	US2006260408A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	集成差压传感器及其制造方法
摘要：	集成差压传感器的制造方法包括：形成一个具有第一面和第二面的半导体材料的主体部分、在距离第一面和其限定的柔性膜一定距离处形成一个孔、形成一个液体与该孔流通的进入通道、在柔性膜形成至少一个转换元件用来将柔性膜的变形转换为电信号。该孔是位于距离第二面和第二面的边界一定距离的主体的一部分。为了形成该进入通道，主体被腐蚀以形成一个通过它的进入通道。