公开号：	US2006260409A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	压力传感器和基片加工装置
摘要：	一个压力传感器包括一个薄的盘形薄膜、一个激光位移计来检测薄膜的变形量，还有一个连接到激光位移计的操作部分。在压力传感器中，由于压力传感器中的流体流动的压力造成的薄膜变形量被激光位移计检测到，并且流体的压力可以通过变形量以及预先存储在操作部分的信息来获得。该压力传感器的薄膜底座是用石墨（或硅基片）和一层薄的金刚砂薄膜制造的，该薄膜与流体在底座的表面接触。这就提高了压力传感器的耐化学性并且通过防止金属洗脱延长了该压力传感器的寿命。