公开号：	US2006254643A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	控制和材料分析
专利名：	用来监控惰性气体分配系统的方法和系统
摘要：	气体监控系统包括输气管道，氧气传感器，滤波器，抽气机，示波器和控制器。输气管道用来将气体从惰性气体接收端口所处的空间输送到远离端口处。氧传感器存储单元处与输气管道相连。氧传感器用来检测气体中的氧气的分压。滤波器连接在上述空间和存储单元之间的输气管道上。滤波器用来在气体到达氧传感器之前从气体中移除可燃性污染物。控制器与氧传感器和示波器电气相连。控制器在氧气分压超过预先设定值是激活驱动示波器。