| 摘要： | 传统的提高缺陷检测灵敏度的方法是通过提分辨力，如果是一个微小的图案，例如微小的缺陷的情况是一个高空间频率的结构，它成为最亮的部分，微小缺陷的灰度色标对比度将会增强。但是在这一过程中，微小的图案的灰度色标对比度也会同时增强。因此，这里就存在一个问题：不能够更进一步增强微小缺陷检测灵敏度。本发明中，一个可以分成很多小孔径的孔径光阑位于一个照明光瞳面上。这样就可以独立地控制每个小孔径的光遮挡/光透射。这种控制就允许检查目标物体仅仅在一个入射角被照明，在这个入射角下微小缺陷的灰度色标对比度很跟明显地增强。 |