公开号：	US2006262295A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	晶片检测装置和方法
摘要：	本发明是关于一种检测晶片的装置和方法，包括一个照明装置来照亮晶片的表面，一个成像装置用来通过至少一个具有成像区域的相机对晶片表面光学成像，一个运动装置用来产生成像区域和晶片表面之间的运动以及一个评价装置用来评价晶片，这里的成像装置包括两个聚集在相同成像区域的相机。