公开号：	US2006266124A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	压力传感器
摘要：	一个压力传感器包括一个微小振荡装置，它固定在一个支承底座上，一个控制装置是用来使振荡装置在绝对真空环境下以已知的频率和振幅相对支承底座摆动，并且检测频率和/或振幅与已知频率和/或振幅的偏离，这里的控制装置是被一个恒定频率信号元件所驱动，检测装置可以检测一个方向上的偏离，例如通过光学或电学装置。