公开号：	US2006283390A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	控制和材料分析
专利名：	半导体制造装置使检查质量流量控制器与之保持联系
摘要：	一个多元化的阀门的开关控制，使多元化成为一个室的气体流量在一个半导体制造装置的运作，以及开放/多元化的阀门关闭进行控制，使气体甲流入量流量计在质量流量控制器MFC2`检查。因此，保持质量流量控制器MFC2`与半导体制造设备的连接，可以实现该检测。