公开号：	US2008073573A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	医学技术
专利名：	激光结晶装置和结晶方法
摘要：	本专利是关于激光结晶仪器和一种高产量结晶方法。用带有既定的光强度分布的激光灯照射半导体薄膜，使其溶化和结晶。照射位置确定速度快，定位精度高，从而形成具有大晶粒的半导体薄膜。本激光结晶仪根据现有发明的部分原理，含有一个激光结晶光源、一个用于预定光强分布的相移调制激光脉冲灯、一个准分子激光成像系统、一个带有可调整平台的基板，可以持续的朝预定的方向移动，一种位置测量手段，和一个可根据位置测量结果而产生激光的脉冲激光灯。