公开号：	US2006113499A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	医学技术
专利名：	紫外分光光度法测定种子层大气污染系统
摘要：	本发明提供了一种有机污染物去除系统，它是在半导体基板上沉积一个铜种子层中去除有机物。本发明提供了一个围封半导体基板内部的房子。一个紫外线辐射源在房子内部被处理。房子中也提供治疗媒介。半导体基板被包含在住房中并暴露在治疗中。紫外线辐射光源将半导体基板暴露在紫外线辐射中，并从种子层解吸污染物。