公开号：	US2006269121A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	发明名称：图案模式的检测方法和装置
摘要：	摘要：测量样本图案的系统包括：一个数据处理系统，该系统处理样本强度的二维分布数据，并且可以计算出边缘点集的边缘位置，一个近似的图案边缘；通过计算边缘点之间的差异可以得到边缘粗糙度数据及近似边缘，以及第一部分和第二部分边缘粗糙度数据之间的关联性。