公开号：	US2006271333A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	发明名称：形态测量仪器
摘要：	摘要：当改变目标物的摩擦力时，形态测量仪可以测量出物体的表面形变。当测量探针倾斜角度θ时，就会产生一测力的回缩力，并且可以获得和自身重力一样小的力。另一方面，通过真空圆柱体的挤压可以获得一偏移量。因此，和工件相关的的测量探针的摩擦力被测的，且该力是测量探针自身重力沿倾斜角度的分量和真空圆柱体的挤压力的差值，因此可以将摩擦力尽可能的减到最小。