公开号：	US2006272414A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	发明名称：电容微加速度计及制备方法
摘要：	摘要：可移动的微观结构包括平面微电容加速度计，该加速度计具有亚微米重力的分辨率和极高的灵敏度。使用双面全干的膜工艺将微观结构制作在厚的硅绝缘体基板或者硅衬底上。该工艺提供了大量的物质，减小了电容间距及水平面刚度。装配设备位于高分辨率的电容开关上，CMOS集成电路可以减小参考电容的面积。测量灵敏度为83mV/mg，10HZ时输出噪声为-91dBm/Hz。集成电路测量0.65平方毫米区域仅消耗6毫瓦功率。