公开号：	US2006274326A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	发明名称：抛光的方法和装置
摘要：	摘要：本发明介绍了一种抛光监测设备，它可以很容易的掌握抛光的过程。该装置借助于一特定值监测表面抛光的过程，该值反映了扫描过程中，在预定时间间隔内，每个采样点的物体抛光面的状况。该装置是由发射光线，也就是装置中的21可以发射光线照射到物体表面和26计算单元接受反射光从而得到一个特征值。然后，在每次扫描中，在同一取样时间从采样点获取特征值，并将该值输出。根据与表面中心的距离来监测抛光的过程。