公开号：	US2006278009A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	发明名称：MEMS压力传感装置
摘要：	摘要：压力传感系统形成在庞大的半导体基片上。压力传感系统包括一个压力感应装置半且形成于基板上。压力感应装置是适用电子压力信号对应于环境的压力的环境。该系统包括驱动电路形成于庞大的半导体基板上。该驱动器电路响应于输入电信号来产生输出压力信号。导电互连结构（形成于庞大的半导体基板上）连接压力传感装置和驱动电路，为的是使电压力信号作为输入信号输入到驱动电路，且电压力信号是由压力感应装置产生的。