公开号：	US2006280285A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	发明名称：X荧光射线光谱仪
摘要：	摘要：本发明介绍了一种用于准确分析过渡金属的方法和设备，，如含有铁，铜杂质的铪薄膜，这是一个过渡金属样品。从含有铱阳极管的X射线管中用单色仪分理出Ir-Lalpha射线，并将r-Lalpha射线应用于样本，以完全反映铪薄膜样本，通过探测器可以检测到一个方向的X荧光射线而非所有方向的。这样不仅能够检测到Fe-Kalpha射线，而且还可以抑制影响Cu-K射线的检测的Hf-Lalpha射线，而且可以将拉曼散射的最高能量转换成的很小，可以避免与Cu-K射线的重叠。