摘要: | 工艺和系统加工薄膜样品,以及提供至少一种薄膜结构的一部分。脉冲光束照射,可形成至少定义了一个一线式脉冲光束,其中包括主要部分,一顶部分和结尾部分,其中至少有一部份有足够的强度,至少部分熔化电影样本。辐照样品的电影的第一部分,至少部分熔化的第一部分,以使第一部分固化结晶,形成一个面积约制服其中。经过了第一部分的薄膜样品辐照,辐照第二部分,使用行式光束脉冲照射至少部分熔化的第二部分,以使第二部分固化结晶,形成一个大约制服区域内。一个由该行第一个脉冲型梁的上半部分影响了的第一部分是无法被尾随的行式第二部分脉冲光束照射的。 |