公开号：	US2006283255A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	发明名称：高温压力传感器
摘要：	摘要：高温压力传感器包括一个介质层。压力传感器还包括一个基板，在没有相变时其耐温大于450摄氏度，至少一个半导体材料置于蓝宝石基质上，还有一个二氧化硅沉积层置于半导体材料之上。压力传感器的另一面也包括半导体材料。