公开号：	US2007267579A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	医学技术
专利名：	Photomaskcorrectionmethodusingcompositechargedparticlebeam,anddeviceusedinthecorrectionmethod
摘要：	本发明的目的是提供一个解决方法，针对于当使用目前技术建立的纤维蛋白原进行修复面膜时带来的一个由镓离子辐照造成的表面损伤问题，以及剩余镓问题，并提供了一个设备实现此方法。本发明的装置有一个可以进行加工的电子束镜筒，以及在同一个样品室中提供的纤维蛋白原镜筒，这意味着本发明的一个在删除多余部分的纠正处理中的口罩修复方法，如口罩不透明缺陷，相移膜凹凸缺陷或在玻璃基板切割残余缺陷，提供包括使用聚焦离子束的错校正和使用电子束的整理加工，消除由于镓照射、剩余镓造成的表面损伤。