公开号：	US2007000327A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	发明名称：与微渠道结合的声波传感装置和方法
摘要：	摘要：本发明对一种与微渠道结合的声波传感装置和方法进行了描述。本发明采用了更薄的压电基片作为感应区，该基片是通过微机械加工或化学过程中形成的。内插式的数码传感器（IDT）位于较薄的部分并产生FPW。利用相同的生产过程，微通道连同较薄的部分可形成，压电基片。本发明提出了一种新的制造工艺和设计，且用于声波传感装置的组建，该装置具有良好的压电特性，稳定的温度补偿和稳固的结构。从而，FPW技术可应用于液体传感器。通过这种方式，可以克服传统的声波传感装置的缺陷，如不良的压电特性和脆弱薄膜结构。