公开号：	US2007000330A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	发明名称：压力传感器
摘要：	摘要：这里介绍了一种压力传感器。压力传感器包括一个多层结构，包括基片和半导体层，其中，基片包括单晶或准单晶氧化铝，以及对即从位于外围边缘的基片部分是湿的，它被腐蚀形成一面对内侧壁，它定义了一个空间；基板牢固的固定于多层结构上。该空间是封闭的且由基板表面界定。