公开号：	US2006219957A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	医学技术
专利名：	激光产生的等离子体EUV光源
摘要：	一个EUV光源透露可包括一个激光光源（如二氧化碳激光），一个等离子腔和一个用于将激光束从前者传递给后者的光束传输系统。其具体现象可能包括以下的一个或多个：一个旁路行可能会被用于等离子室和辅助室建立聚焦光，一个调焦装置（如镜子，用于将光束在等离子体室聚焦），一个操纵装置，用于为指导调整在等离子室的激光束焦点，以及一个可以调整屈光度的光学准备装置