公开号：	US2006219958A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	医学技术
专利名：	污染屏障和光刻设备
摘要：	一个可旋转的污染屏障含有一个用于截留从辐射源产生的污染物质的密集的刀片。刀片径向导向污染屏障与的中央旋转轴有关。刀片包括一个具有一般晶体的相对于中央旋转轴径向导向的金属化合物。