公开号：	US2006151430A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	制造多层薄膜的方法和系统
摘要：	制造多层薄膜的方法和系统包括：（1）根据设定参数制造多个层，（2）在制造每一个层的过程中确定与该层中相关联的多个光学特性，（3）根据每个正在制造的层的多个光学特性中的一个确定动态制造过程。