公开号：	US2007002318A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	发明名称：模式缺陷的检查方法和设备
摘要：	摘要：模式缺陷的检查方法和设备包括发射一激光束，调整激光束的光量，将调整过的激光光束转换成一个狭缝状激光光通量，降低了狭缝式激光光通量的相干性，以及用相干光辐照样品。获取样本的反射光图像，并提供一个探测器，其中包括图像传感器，图像传感器用来接收反射光的图像并将其转换成图像信号，进行检测。还有一个图像处理器，按照检测到的图像信号处理器可以检测样本的缺陷模式。