公开号：	US2007002323A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	发明名称：马克位置检测仪器
摘要：	摘要：一个标志位置检测仪器已与照明灯，照亮和光学成像系统的测量标志融合光照明光学系统的反射测量标志，形成一个图片皮卡仪器的测量标志的图像。该标志位置检测仪器措施处理图像信号的图像拾取装置获得了位移测量标志位置。该标志位置检测仪器具有光学元件提供的光照补偿中的图像信号，对照明光的波长取决于光学系统的不对称性差异。