| 摘要： | 摘要：这里描述了一种传感器，它基本上是由无铅高灵敏度差分的传感器芯片组成，该芯片可以响应静态和动态压力。在传感器上设有两个传感器。一个传感器有较厚的隔膜和可以响应静态和动态压力，以产生输出一个表示静态的压力的信号，静态压力比动压有更高的量级。另一个传感器有较薄的隔膜且有一个侧面或表面响应静态和动态压力。在差分传感器或传感器结构的另一边有一个长的蛇形的参考管耦合到隔膜的下面。该管只允许静压力作用于隔膜底面，且由于管的自然共振频率，在任何方式下，动态压力被压制或不能与带有薄膜的传感器相互作用。因此，薄隔膜差分单元提供了一个代表动态压力的输出，同时作用于传感器的顶部和底部的静态压力被消除。 |